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厚膜印刷及微纳米加工服务


    纳格公司在厚膜印刷与微纳米加工技术方面已积累丰富经验,可以提供对外委托加工服务。

    厚膜印刷方面,我们可以印刷不同线宽的金、银、铂等导电线条或者图案,最细可以印刷出40um宽的导电线条;可以印刷不同方阻的二氧化钌浆料以及保护介质层。

    在微纳加工方面,我们在光刻、刻蚀、镀膜方面有着丰富经验,可以提供不同深宽比的SU-8胶光刻能力,可以提供二氧化硅和单晶硅不同深度刻蚀能力,可以用PECVD生长不同厚度的氧化硅膜。

    同时,我们还提供厚膜印刷和微纳加工相结合的加工能力,目前已经成功将厚膜印刷和微纳加工相结合,制备出6英寸MEMS微热板晶圆。

   

       厚膜印刷陶瓷加热片                         SU8高深宽比线条

                
 
             厚膜印刷热电偶                     六英寸MEMS微热板晶圆

 
 
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