技术积累

MEMS加工技术与印刷电子技术出版专著


一种微热板及微器件--实用证书

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一种监测温度变化器件-实用证书

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国际PCT-1受通

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IP20-微管式固体氧化物燃料电池装置

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IP19-支撑型微管式固体氧化物燃料电池

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IP18-具有应力调节层的微热板

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IP16-热线型气体传感器芯片及其传感器

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IP15-一种陶瓷基微热板

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IP14-半导体气体传感器芯片及传感器

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IP12-甲醛检测仪

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IP10-功能区为网格状的半导体气体传感器

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IP09-半导体气体传感器

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IP08-半导体气体传感器

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IP07-金属氧化物半导体气体传感器及其制备方法

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IP06-功能区具有粗糙度的半导体气体传感器

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